Perbezaan utama antara analisis mikro dan analisis semi mikro adalah bahawa analisis mikro digunakan untuk menganalisis bahan yang mempunyai jisim kurang dari 10mg sedangkan analisis semi mikro digunakan untuk menganalisis bahan yang mempunyai jisim sekitar 100-500mg.
Analisis mikro dan separa mikro adalah dua jenis analisis kualitatif, iaitu analisis bahan berdasarkan sifatnya dan bukannya kuantitinya. Analisis mikro merujuk kepada analisis bahan yang mempunyai ukuran zarah dalam skala mikro. Kaedah yang berbeza boleh digunakan untuk analisis mikro. Analisis semi mikro, sebaliknya, adalah kaedah analisis mikro yang dikembangkan.
